Il monitoraggio a livello di dispositivo esamina le attività all'interno di un singolo computer, controller o altro dispositivo, invece di basarsi soltanto sul traffico di rete in entrata o in uscita. Nella tecnologia operativa (OT), può aiutare a rilevare modifiche alla configurazione, al software o alla logica di controllo del dispositivo che i sensori di rete potrebbero non rilevare.
Questa visibilità può aiutare i responsabili della difesa a rilevare modifiche non autorizzate e a indagare su comportamenti sospetti. Integra, ma non sostituisce, il monitoraggio della rete e gli inventari degli asset. Negli ambienti industriali, il monitoraggio e qualsiasi risposta automatizzata devono essere testati per verificarne la compatibilità con i modelli dei dispositivi e le condizioni operative: falsi allarmi o un'azione di isolamento non sicura potrebbero interrompere processi essenziali. Prima di affidarsi a uno strumento durante le operazioni in corso, le organizzazioni dovrebbero convalidarne la copertura, l'accuratezza degli avvisi e le procedure di risposta.